Плазма высокой плотности генерируется в условиях атмосферного давления, и происходящие реакции химического травления позволяют удалять материал с точностью, превосходящей сверхточную шлифовку, и формировать структуру, сравнимую с обработкой сфокусированным ионным пучком. Относительно невысокие температуры плазмы при этом процессе, позволяют обрабатывать широкий спектр материалов.

За более подробной информацией с примерами применения и демонстрацией рабочих образцов обращайтесь к сотрудникам нашей компании.

Модели: APL-200, APL-500.

Основные технические данные:

Макс. размер обрабатываемых заготовок: 500x500 мм;

Число осей: 3PRS-XY;

Тип структуры осей: 5;

Тип компоновки: 5-осевой синхронный механизм.


Система генерации плазмы:

Скорость удаления материала: 6 нм/мин ~ 100 мкм/мин;

Стабильность функции удаления: более 95%;

Макс. скорость удаления материала: 30 мм³/мин (на примере плавленного кварца).


Подвижная система:

Длина хода оси X: >=600 мм;

Длина хода оси Y: >=600 мм;

Длина хода оси Z: >=400 мм;

Размер рабочего столика: >D500 мм;

Макс. скорость хода осей по горизонтали: 100 мм/с.


Радиочастотная система (RF):

Выходная мощность: 1000 Вт (50Ω);

Выходная частота: 40.68 МГц±0.05%;

Диапазон выходной мощности: (5~1000) Вт;

Шаг настройки выходной мощности и допуск на сопротивление: ＜ 10 Вт (50Ω);

Стабильность выходного сигнала: ±1.0%;

Метод охлаждения: Принудительное воздушное охлаждение;

Системы защиты: Перегрузка по току, перенапряжение, перегрев и чрезмерное отражение;

Метод сличения: Автоматическое сличение.


Система газоснабжения:

Точность: ±2% от полной шкалы;

Рабочие температуры: 5℃ ~ 45℃;

Время отклика: ≤2 c;

Диапазон рабочего давления: (0,1~0,3) МПа;

Сопротивление давлению: 3 МПа.


Габаритные размеры:

Масса: 6200 кг;

ДхШхВ: 2314х2177х3156 мм.

Станок обеспечивает горизонтальную обработку деталей размеров до 650 мм. Местная ошибка сервоприводов ± 0,1 нм, ошибка вращения шпинделя менее 10 нм, а шероховатость поверхности лучше, чем RMS 1 нм. Это позволяет достичь следующих точностей системы в обработке детали: шероховатость Ra ≤ 2нм, погрешность формы PV ≤ 0.2 мкм.

Модели: UPL-D200, UPL-D350, UPL-D650.

Основные технические данные:

Макс. диаметр: UPL-D200 - 200 мм, UPL-D350 - 350 мм, UPL-D650 - 650 мм;

Макс. длина: UPL-D200 - 200 мм, UPL-D350 - 300 мм, UPL-D650 - 300 мм;

Погрешность обработки детали: сферическая деталь Ø75 мм: шероховатость Ra ≤ 2нм, погрешность формы PV ≤ 0.2 мкм;

Программное разрешение: линейная ось: 0.01нм, ось вращения: 0.0000001`;

Основа станка: натуральный гранит;

Виброизоляция: система воздушной изоляции с высокими демпфирующими показателями;

Макс. подача: 3000 мм\мин;

Шпиндель: высокоточный шпиндель C80 ф. Raytek;

Скорость шпинделя: 6000 об\мин;

Погрешность вращения: < 12,5 нм.

Модели: EGMC-120.

Основные технические данные:

Диаметр обрабатываемой линзы: 5-120 мм;

Макс. обрабатываемая толщина линзы: 30 мм;

Резьба шпинделя держателя линзы: M20*1 (фиксированный конец, поворачивающийся вправо, подвижный конец, поворачивающийся влево);

Скорость шлифования шпинделя держателя линзы: 0 -100 оборотов (устанавливается оператором);

Центробежная скорость держателя линзы: 200-600 оборотов (устанавливается оператором);

Двигатели подачи шпинделя держателя алмазных шлифовальных кругов: Подача слева/справа (направление оси X), серводвигатель мощностью 400 Вт;

Точность позиционирования шпинделя держателя алмазных шлифовальных кругов: 3 мкм;

Скорость вращения шпинделя алмазных шлифовальных кругов:
3500 об/мин (с помощью преобразователя частоты вала колеса скорость шпинделя можно регулировать);

Потребляемая мощность двигатели вращения шпинделя алмазных шлифовальных кругов: 750Вт / 380В / 4 фазы;

Технические характеристики алмазных шлифовальных кругов: D160*30H7*30T(Толщина 8-30 мм);

Контроллер: Программируемый контроллер ПЛК, контроллер ЧПУ;

Режим центрирования: Лазерное оптическое центрирование;

Габариты: не более 1000х1000х2000 мм;

Источник питания: 380В, 50/60Гц, 4 фазы;

Потребляемая мощность: 1,0 КВт/4,6 А;

Вес станка: не более 600 кг.

Модели: HWC-035

Основные технические данные:

Рабочий диапазон (Д х Ш): 880 х 460 мм;

Поворотный стол: 350 мм;

Размер хода рабочего стола: 300 мм (по оси Х);

Размер хода алмазного канатного режущего узла: 300 мм (по оси Y);

Угол поворота вращающегося стола: 360° - горизонтально, ±15°- вертикально, точность позиционирование: 5 мкм;

Мин. толщина резки: 0,3 мм;

Мин. стабильная толщина резки: 0,5 мм;

Макс. скорость резки: 9.99 мм/сек;

Шероховатость поверхности реза: <=3.0 мкм;

Размер проволоки с алмазным песком: 0,3-0,8 мм;

Алмазные шлифовальные круги с держателями проволоки: 250х18х55 мм;

Скорость перемещения алмазной шлифовальной проволоки: 0-30 мм/сек;

Макс. вес загружаемой заготовки: 150 кг;

Габариты: не более 2000х1500х2000 мм;

Источник питания: 220В, 50/60Hz, 3 фазы;

Потребляемая мощность: 1,0 КВт/4,6 А;

Вес станка: не более 2000 кг.

Модели: SCP-660A, SCP-880A.

Основные технические данные:

Рабочий диапазон (диаметр): SCP-660A - 0,5-16 мм, SCP-880A - 10-50 мм;

Рабочие радиусы (Concave и Convex): SCP-660A - 1-25 мм, SCP-880A - от 15 мм до бесконечности;

Точность рабочего радиуса: < 1мкм;

Давление прижима: 0-10 кг;

Скорость вала: 640 -3500 об/мин, бесступенчатое регулирование скорости;

Скорость поворотного вала: 0-45 об/мин, бесступенчатое регулирование скорости;

Габариты: не бьолее 2000х1000х2000 мм;

Источник питания: 220В, 50/60Гц, 3 фазы;

Потребляемая мощность: 1,0 КВт / 4,6 А;

Вес станка: не более 1000 кг.

В комплектность станка должно входить:
- устройство для установки инструмента,
- устройство подачи воды через центр главного вала,
- Баки сож с модулем установки и контроля рабочей температуры СОЖ,
- установочный шарик,
- блок циферблатного датчика.

Основные технические данные:

Принцип измерения: интерферометрия Физо;

Эффективный диаметр: 60 мм;

Источник света: полупроводниковый лазер с длиной волны 635 нм;

Используемые объективы: F0.6, F0.7, F1.0, F1.4, F1.5, F2.0, F2.8, F3.3, F4.5, F5.6, F8.0, F8D, F13, плоские линзы и др.;

Точность рееренсной оптики: PV: ≥ λ/20;

Эффективная длина направляющей: 540 мм;

Программное обеспечени: ПО Sirius собственной разработки;

Источник питания: 100-240 В, 50/60 Гц;

Габариты (ДхШхВ): 400х300х1140 мм;

Масса: 75 кг.

Основные технические данные:

Принцип измерения: интерферометрия Физо;

Эффективный диаметр: G100 - 101,6 мм, G150 - 152,4 мм;

Источник света: гелий-неоновый лазер с диной волны 632,8 нм, фазовая длина > 100 м;

Камера: размер матрицы 1/1,2 дюйма, эффективное разрешение 1,2к х 1,2к пикс.;

RMS повторяемость (2δ): <λ/3000;

RMS повторяемость по волновому фронту (ок. +2δ): <1,5 нм;

Оптическое увеличение: 1-6 раз;

Метод фазового сдвига: механический фазовый сдвиг;

Оптический диапазон фокусировки: ограничен стойкой 1м;

Точность референсного плоского объектива: PV: лучше, чем λ/20;

Точность референсного сферического объектива: PV: лучше, чем λ/10 и λ/20;

Программное обеспечени: ПО Sirius собственной разработки;

Температура рабочей среды: 15°C - 30°C;

Скорость изменения температуры: ＜1,0°C/30 мин;

Влажность воздуха: не более 70%;

Источник питания: 100-240 В, 50/60 Гц;

Габариты (ДхШхВ): G100 - 700х510х2180 мм, G150 - 700х510х2320 мм;

Масса: G100 - 350 кг, G150 - 400 кг.